高功率半导体激光器

高功率半导体激光器凭借其电光转换效率高、调制便捷、结构小巧、及重要轻等显著优势,在诸多领域得到广泛应用。然而,热效应问题会直接导致器件输出功率下降、电光转换效率降低,严重时还会缩短器件整体使用寿命。因此,在高功率半导体激光器封装设计中,过渡热沉需同时满足低热阻与低热失配两项核心要求。依据傅里叶热传导定律,器件热阻与热沉材料的热导率呈反比关系;热导率越高,越能有效降低器件的整体热阻。
相较于热导率为 230 W/(K·m) 的氮化铝(AlN)过渡热沉,金刚石热沉材料具有更为卓越的热导率(可达 1800 W/(K·m)),将其用作高功率半导体激光器的过渡热沉,可显著增强器件的散热性能。研究表明,当金刚石膜厚度大于 150 μm、热导率高于 6 W/(K·cm) 时,作为热沉使用可明显降低激光器的热阻。具体而言,与采用铜(Cu)热沉的器件相比,厚度为 350–400 μm、热导率在 12–14 W/(K·cm) 范围内的金刚石膜热沉,可使器件热阻降低 45%–50%,同时将光输出功率提升 25%。
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