1. 异质外延大尺寸单晶

化合积电聚焦金刚石功率半导体材料的研究和开发，通过异质外延法，在蓝宝石衬底上成功实现高质量铱单晶薄膜生长。利用高质量铱单晶薄膜，将有效提高单晶金刚石的生长质量，对于制备高质量大尺寸单晶金刚石半导体材料具有重要意义。

2. 同质外延大尺寸单晶

采用MPCVD法同质外延生长单晶金刚石，推进单晶金刚石在热学、光学和电学等领域的应用研究，为广大科研机构/企业提供高质量热学级、光学级、电子级单晶。目前，单晶金刚石实现规模化量产。

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