化合积电建立超宽禁带半导体材料金刚石检验检测中心，涵盖50多项检测项目，如：

1.粗糙度测试

2.晶向测试

3.透过率测试

4.热膨胀测试

5.XPS杂质分析

6.翘曲测试

7.热导率测试

8.体积电阻测试

9.体积密度测试

10.莫氏硬度测试

11.SEM粒径测量

12.摇摆曲线半峰宽

13.介电损耗测试

14.面型PV值测试

15.相对介电常数测试

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