氮掺杂单晶金刚石
氮掺杂单晶金刚石集成超高导热、高纯度 NV 中心、低晶格缺陷等多项优异特性，广泛适配高功率电子、量子信息、生物成像、高端光子学前沿场景。
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超高热导率
导热性能优异，快速导出器件热量，高效解决高温散热难题
高纯度 NV 色心
高密度稳定色心，适配量子传感、量子精密测量场景
低缺陷晶体层
晶格缺陷少，光学损耗低，保障量子信号稳定输出
掺杂浓度可定制
精准调控氮元素含量，匹配不同量子设备使用需求
化合积电自研可控氮掺杂制备工艺，可实现掺杂浓度精准调控与个性化定制，充分匹配各类应用对电学、量子、光学性能的严苛指标要求。
产品参数：
尺寸：2*2~10*10mm²
掺杂层厚度：≤300μm
外延厚度：0.1~500μm(大于200μm可去除本征衬底)
表面粗糙度：Ra<2或者<5nm
[N]含量：10¹⁶ ~ 10²⁰ cm⁻³
热导率：1000-2000W/(m·K)
应用领域
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