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金刚石镀膜即采用 MPCVD 微波等离子化学气相沉积工艺,在金属、硅基、光学基材表面沉积一层致密纯金刚石薄膜。薄膜保留金刚石高导热、高硬度、耐腐蚀、低损耗核心性能,可按需调控膜层厚度,用于芯片散热、光学窗口、耐磨元器件,兼顾散热增效与耐磨防护。
金刚石柔性薄膜采用MPCVD工艺制成,兼顾金刚石高导热、低射频损耗与轻薄可弯折特性,可贴合各类曲面基材,耐磨耐腐蚀且绝缘。弥补硬质金刚石无法适配异形器件的短板,多用于AI芯片、射频器件等散热,高效控温,提升电子设备运行稳定性。
氮掺杂单晶金刚石集成超高导热、高纯度 NV 中心、低晶格缺陷等多项优异特性,广泛适配高功率电子、量子信息、生物成像、高端光子学前沿场景。
TDTR(飞秒激光时域热反射测试系统)是当今国际最先进的微纳材料传热测量技术之一。化合积电自主研发TDTR,可测试金刚石、半导体、金属等材料的热导率、界面热阻、热扩散率、热容等关键热物性参数,测试范围覆盖块状样品以及厚度在几十纳米至几微米范围内的薄膜,为非接触式测量,可在常规环境条件下或通过真空室的窗口进行。
针对大尺寸金刚石薄膜材料生长及加工的挑战,化合积电通过自主研发专用设备及优化生产工艺,成功制备出超大尺寸硅基多晶金刚石薄膜;采用独特的界面设计及种晶材料,制备出膜厚均匀性可控、界面热阻可调节的核心材料。
CVD金刚石具有最高的弹性模量、最高的声音传播速率、最高的硬度、低密度、良好的声阻尼特性、低比重、高保真度、优异的高频响应特性,以及较高的导热性,因此CVD金刚石振膜是高保真扬声器高音振膜的最佳材料。
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