硅基金刚石

针对大尺寸金刚石薄膜材料生长及加工的挑战，化合积电通过自主研发专用设备及优化生产工艺，成功制备出超大尺寸硅基多晶金刚石薄膜；采用独特的界面设计及种晶材料，制备出膜厚均匀性可控、界面热阻可调节的核心材料。