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TDTR 热导率测试设备

TDTR(飞秒激光时域热反射测试系统)是当今国际最先进的微纳材料传热测量技术之一。化合积电自主研发TDTR,可测试金刚石、半导体、金属等材料的热导率、界面热阻、热扩散率、热容等关键热物性参数,测试范围覆盖块状样品以及厚度在几十纳米至几微米范围内的薄膜,为非接触式测量,可在常规环境条件下或通过真空室的窗口进行。

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可同步测量多种参数

热导率、界面热阻、热扩散率等

超薄样品兼容

可测厚度 10 nm~ 数 μm 超薄膜

非接触式无损检测

样品无损,可复用

超高时空分辨率

适配纳米 / 薄膜微尺度检测

TDTR是一种光泵浦-探测技术:在该技术中,泵浦光束对样品表面进行热激发,探测光束则用于测量块状材料、纳米结构及薄膜的时间分辨热反射率。其原理为:利用一束超快脉冲激光加热待测材料,引发材料表面温度和反射率发生变化,再借助另外一束延迟时间可调控的脉冲激光探测材料表面反射率的实际变化情况,然后将实验采集数据与理论计算数据对比,通过调整理论模型的待测参量使两者差异最小化,从而准确获取材料的热物性及热载流子散热特性。

由于TDTR是基于飞秒超快激光泵浦探测(pump-probe)技术的非接触式导热测量方法。相比其他导热测量技术,TDTR是当前可以同时测量纳米薄膜热导率和界面热阻的独特技术,具有测试影响因数少、所需样品尺寸小、数据准确度高等优点。

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产品参数:

热导率范围:1~2500W·(m·K)

可测试薄膜厚度:10nm一几微米

热扩散率测试范围:0.1~1000mm2.s-1

动态时间响应能力:1ps

可测材料:Si,SiC,GaAs,GaN,金刚石,Ga203,Au,AuSn等

热演化时间长度:≥10ns

温度变化范围:296K至623K (23°C至400°C)

备注:可精确测试异质结界面处热导率

应用领域

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