TDTR（飞秒激光时域热反射测试系统）是当今国际最先进的微纳材料传热测量技术之一。化合积电自主研发TDTR，可测试金刚石、半导体、金属等材料的热导率、界面热阻、热扩散率、热容等关键热物性参数，测试范围覆盖块状样品以及厚度在几十纳米至几微米范围内的薄膜，为非接触式测量，可在常规环境条件下或通过真空室的窗口进行。

MPCVD（微波等离子体化学气相沉积设备）是制备人造金刚石的高性能装备。化合积电自主研发的MPCVD设备可实现单晶金刚石、多晶金刚石的高品质生长。设备微波输出频率覆盖 915~2450 MHz，可生长 2inch~10inch金刚石薄膜。