MPCVD（微波等离子体化学气相沉积设备）是制备人造金刚石的高性能装备。化合积电自主研发的MPCVD设备可实现单晶金刚石、多晶金刚石的高品质生长。设备微波输出频率覆盖 915~2450 MHz，可生长 2inch~10inch金刚石薄膜。

金刚石复合材料是一种由金刚石颗粒与Ag、Cu、Al等高导热金属基体结合而成的高性能复合材料，结合了金刚石的超高导热性和金属材料的优良导电性，广泛应用于高功率电子器件的散热领域。

化合积电建立超宽禁带半导体材料金刚石检验检测中心，围绕金刚石材料和应用，率先建立并开展全方位的检测，目前已建立50多个检测项目，检测中心配置世界先进的检测设备，包括SEM扫描电子显微镜、AFM原子力显微镜、拉曼光谱仪、TDTR时域热反射测量、3ω超高导热材料热物性测试仪等。